Мера толщины пленок
Patentne leiutis: Мера толщины пленок; Omanikud: Tallinna Tehnikaülikool; Autorid: Rein Laaneots, Andres Laaneots; Prioriteedi number: SU19884605879; Prioriteedi kuupäev: 17.10.1988.
Patentne leiutis
Мера толщины пленок
Film thickness standard
Prioriteeditaotlus
17.10.1988
SU19884605879
Rahvusvaheline (IPC)
G01B7/06; G01B7/02
NSVL
Venemaa Föderatsioon
Lõpetatud
Välja antud kaitsedokumendid (1)
KuupäevNumberPatendiametKehtiv kuniVolinikRiikURLFailStaatus
15.02.1991SU1627823NSVLSU1627823Lõpetatud