Thin films for nanodimensional memory structures: growth and crystallization in atomic layer deposition processes

Tõnis Arroval, doktorant, (juh) Jaan Aarik, Thin films for nanodimensional memory structures: growth and crystallization in atomic layer deposition processes (Tahkisekiled nanomõõtmeliste mälustruktuuride jaoks: kasv ja kristalliseerumine aatomkihtsadestamisel), Tartu Ülikool.
Tõnis Arroval
doktorikraad
Õpingud pooleli
Ei
3.09.2012
Inglise
Thin films for nanodimensional memory structures: growth and crystallization in atomic layer deposition processes
Tahkisekiled nanomõõtmeliste mälustruktuuride jaoks: kasv ja kristalliseerumine aatomkihtsadestamisel
ETIS klassifikaatorAlamvaldkondCERCS klassifikaator
4. Loodusteadused ja tehnika4.12. Protsessitehnoloogia ja materjaliteadusT150 Materjalitehnoloogia