Optical parameters of atomic-layer-deposited titanium, tantalum and aluminum oxide and their alloys

Oksana Kohan, magistrikraad (teaduskraad), 1994, (juh) Jaan Aarik, Optical parameters of atomic-layer-deposited titanium, tantalum and aluminum oxide and their alloys, Tartu Ülikool, Füüsika-keemiateaduskond.
magistrikraad (teaduskraad)
Kaitstud
Ei
1.09.1992
1994
Optical parameters of atomic-layer-deposited titanium, tantalum and aluminum oxide and their alloys
Tartu Ülikool, Füüsika-keemiateaduskond