Investigation of atomic layer epitaxial growth of tantalum oxide thin films

Kaupo Kukli, magistrikraad (teaduskraad), 1993, (juh) Jaan Aarik, Investigation of atomic layer epitaxial growth of tantalum oxide thin films, Tartu Ülikool, Füüsika-keemiateaduskond.
Kaupo Kukli
magistrikraad (teaduskraad)
Kaitstud
Ei
1.09.1992
1993
Investigation of atomic layer epitaxial growth of tantalum oxide thin films
Investigation of atomic layer epitaxial growth of tantalum oxide thin films
Tartu Ülikool, Füüsika-keemiateaduskond