Investigation of atomic layer growth of aluminium and indium oxide thin films

Andres Jaek, magistrikraad (teaduskraad), 1994, (juh) Jaan Aarik, Investigation of atomic layer growth of aluminium and indium oxide thin films, Tartu Ülikool, Füüsika-keemiateaduskond.
magistrikraad (teaduskraad)
Kaitstud
Ei
1.09.1992
1994
Investigation of atomic layer growth of aluminium and indium oxide thin films
Tartu Ülikool, Füüsika-keemiateaduskond