Dielektriliste pinnakatete aatomkihtsadestamise alane tehnoloogiline nõustamine
GaAs p-i-n-struktuuride pinnapassiveerimise teostatavusuuringud: passiveerivate katete valmistamine aatomkihtsadestamise meetodil ja saadud struktuuride volt-amperkarakteristikate
mõõtmine