See veebileht kasutab küpsiseid kasutaja sessiooni andmete hoidmiseks. Veebilehe kasutamisega nõustute ETISe kasutustingimustega. Loe rohkem
Olen nõus

Mechanical and tribological properties of 100-nm thick alumina films prepared by atomic layer deposition on Si(100) substrates

Alamgir, A.; Bogatov, A.; Yashin, M.; Podgursky, V. (2019). Mechanical and tribological properties of 100-nm thick alumina films prepared by atomic layer deposition on Si(100) substrates. Proceedings of the Estonian Academy of Sciences, 68 (2), 126−130. DOI: 10.3176/proc.2019.2.01.
artikkel ajakirjas
Alamgir, A.; Bogatov, A.; Yashin, M.; Podgursky, V.
  • Inglise
Proceedings of the Estonian Academy of Sciences
1736-6046; 1736-7530
68
2
2019
126130
Ilmunud
1.1. Teadusartiklid, mis on kajastatud Web of Science andmebaasides Science Citation Index Expanded, Social Sciences Citation Index, Arts & Humanities Citation Index, Emerging Sources Citation Index ja/või andmebaasis Scopus (v.a. kogumikud)
Jah
gold
Attribution-NonCommercial (CC BY-NC)
SCOPUS

Viited terviktekstile

doi.org/10.3176/proc.2019.2.01

Lisainfo

https://doi.org/10.3176/proc.2019.2.01