Influence of He/D2 plasma fluxes on the morphology and crystallinity of tungsten coatings
Piip, K.; Paris, P.; Hakola, A.; Bystrov, K.; De Temmerman, G.; Aints, M.; Jõgi, I.; Kozlova, J.; Laan, M.; Likonen, J.; Lissovski, A.; Mändar, H. (2014). Influence of He/D2 plasma fluxes on the morphology and crystallinity of tungsten coatings . Physica Scripta, 89 (4), nr 044009. DOI: 10.1088/0031-8949/89/04/044009.
artikkel ajakirjas
Piip, K.; Paris, P.; Hakola, A.; Bystrov, K.; De Temmerman, G.; Aints, M.; Jõgi, I.; Kozlova, J.; Laan, M.; Likonen, J.; Lissovski, A.; Mändar, H.
- Inglise
Influence of He/D2 plasma fluxes on the morphology and crystallinity of tungsten coatings
Physica Scripta
89
4
2014
nr 044009
Ilmunud
1.1. Teadusartiklid, mis on kajastatud Web of Science andmebaasides Science Citation Index Expanded, Social Sciences Citation Index, Arts & Humanities Citation Index, Emerging Sources Citation Index ja/või andmebaasis Scopus (v.a. kogumikud)
Ei
WOS
Viited terviktekstile
Seotud asutused
- Tartu Ülikool, Loodus- ja tehnoloogiateaduskond, Tartu Ülikooli Füüsika Instituut, Gaaslahenduslabor
- Tartu Ülikool, Loodus- ja tehnoloogiateaduskond, Tartu Ülikooli Füüsika Instituut
- Tartu Ülikool, Loodus- ja tehnoloogiateaduskond, Tartu Ülikooli Füüsika Instituut, Lasertehnika labor
- Tartu Ülikool, Loodus- ja tehnoloogiateaduskond, Tartu Ülikooli Füüsika Instituut, Kiletehnoloogia labor
Lisainfo
- SF0180051s12 (SF0180051s12) "Protsessid plasma-tahkise piirkihis (1.01.2012−31.12.2014)", Matti Laan, Tartu Ülikool, Loodus- ja tehnoloogiateaduskond, Tartu Ülikooli Füüsika Instituut.
- IUT2-24 "Kilestruktuurid nanoelektroonika rakendusteks ja funktsionaalseteks pinnakateteks (1.01.2013−31.12.2018)", Väino Sammelselg, Tartu Ülikool, Loodus- ja täppisteaduste valdkond, füüsika instituut.