Spectroscopic Characterization of ZrO2 Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition

Aarik, J.; Mändar, H.; Kirm, M. (2003). Spectroscopic Characterization of ZrO2 Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition. Proceedings of the Estonian Academy of Sciences. Physics. Mathematics, 52 (3), 289−298.
ajakirjaartikkel
Aarik, J.; Mändar, H.; Kirm, M.
Proceedings of the Estonian Academy of Sciences. Physics. Mathematics
52
3
2003
289298
Ilmunud
1.2. Teadusartiklid teistes rahvusvahelistes teadusajakirjades, millel on registreeritud kood, rahvusvaheline toimetus, rahvusvahelise kolleegiumiga eelretsenseerimine, rahvusvaheline levik ning kättesaadavus ja avatus kaastöödele

Viited terviktekstile