See veebileht kasutab küpsiseid kasutaja sessiooni andmete hoidmiseks. Veebilehe kasutamisega nõustute ETISe kasutustingimustega. Loe rohkem
Olen nõus

Aatomkihtsadestamine:alusuuringutest rakendusteni

Aarik, J. (2006). Aatomkihtsadestamine:alusuuringutest rakendusteni. Aret, A.; Kaasik, H.; Kuusk, P. (Toim.). Eesti Füüsika Seltsi Aastaraamat 2005 (37−56).. Tartu: Eesti Füüsika Selts.
kogumikuartikkel/peatükk raamatus/kogumikus
Aarik, J.
  • Eesti
Eesti Füüsika Seltsi Aastaraamat 2005
Aret, A.; Kaasik, H.; Kuusk, P.
Tartu
Eesti Füüsika Selts
1406-0574
XVI
2006
3756
Ilmunud
3.2. Artiklid/peatükid lisas mitte loetletud kirjastuste välja antud kogumikes

Viited terviktekstile