Iodide/ozone system in aomic layer deposition of tin dioxide

Tarre, A.; Aidla, A.; Mändar, H.; Asari, J.; Uustare, T.; Rosental, A. (2010). Iodide/ozone system in aomic layer deposition of tin dioxide. Conference Program & Abstracts Booklet: Baltic ALD 2010 & GerALD 2; Hamburg, Germany; Sept. 16-17, 2010.
publitseeritud konverentsiettekanne
Tarre, A.; Aidla, A.; Mändar, H.; Asari, J.; Uustare, T.; Rosental, A.
  • Inglise
Conference Program & Abstracts Booklet
Baltic ALD 2010 & GerALD 2; Hamburg, Germany; Sept. 16-17, 2010
2010
Ilmunud
5.2. Konverentsiteesid, mis ei kuulu valdkonda 5.1

Viited terviktekstile

Lisainfo