Atomic layer deposition of epitaxial HfO2 thin films on r-cut sapphire

Mändar, Hugo; Rammula, Raul; Aidla, Aleks; Aarik, Jaan (2013). Atomic layer deposition of epitaxial HfO2 thin films on r-cut sapphire. Journal of Materials Research, 28 (13), 1680−1686.10.1557/jmr.2013.120.
ajakirjaartikkel
Mändar, Hugo; Rammula, Raul; Aidla, Aleks; Aarik, Jaan
  • Inglise
Journal of Materials Research
0884-2914
28
13
2013
16801686
Ilmunud
1.1. Teadusartiklid, mis on kajastatud Web of Science andmebaasides Science Citation Index Expanded, Social Sciences Citation Index, Arts & Humanities Citation Index ja/või andmebaasis Scopus (v.a. kogumikud)
WOS

Viited terviktekstile

dx.doi.org/10.1557/jmr.2013.120