Anomalous effect of temperature on atomic layer deposition of titanium dioxide

Aarik, J.; Aidla, A.; Mandar, H.; Sammelselg, V. (2000). Anomalous effect of temperature on atomic layer deposition of titanium dioxide. Journal of Crystal Growth, 220 (4), 531−537.
ajakirjaartikkel
Aarik, J.; Aidla, A.; Mandar, H.; Sammelselg, V.
  • Inglise
Journal of Crystal Growth
Elsevier Science BV
0022-0248
220
4
2000
531537
7
Ilmunud
1.1. Teadusartiklid, mis on kajastatud Web of Science andmebaasides Science Citation Index Expanded, Social Sciences Citation Index, Arts & Humanities Citation Index ja/või andmebaasis Scopus (v.a. kogumikud)
WOS

Viited terviktekstile

Lisainfo

Article
ISI Web of Science