Mechanical properties of aluminium, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition.

Jõgiaas, Taivo; Zabels, Roberts; Tamm, Aile; Hussainova, Irina; Heikkilä, Mikko; Mändar, Hugo; Kozlova, Jekaterina; Kukli, Kaupo; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku. (2017). Mechanical properties of aluminium, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition. Baltic ALD 2015, Tartu, Eesti: Tartu Ülikool, x.http://x.
publitseeritud konverentsiettekanne
Jõgiaas, Taivo; Zabels, Roberts; Tamm, Aile; Hussainova, Irina; Heikkilä, Mikko; Mändar, Hugo; Kozlova, Jekaterina; Kukli, Kaupo; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku.
  • Inglise
Aatomkihtsadestatud alumiinium-, tsirkoonium-, hafnium- ja tantaaloksiidi ja nende nanolaminaatide mehaanilised omadused.
Baltic ALD 2015, Tartu, Eesti
Tartu Ülikool
2017
x
Ilmunud
5.2. Konverentsiteesid, mis ei kuulu valdkonda 5.1

Viited terviktekstile

x