Chemical resistance of thin film materials based on metal oxides grown by atomic layer deposition

Sammelselg, V.; Netšipailo, I.; Aidla, A.; Tarre, A.; Aarik, L.; Asari, J.; Ritslaid, P.; Aarik, J. (2013). Chemical resistance of thin film materials based on metal oxides grown by atomic layer deposition. Thin Solid Films, 542, 219−224.10.1016/j.tsf.2013.06.079.
ajakirjaartikkel
Sammelselg, V.; Netšipailo, I.; Aidla, A.; Tarre, A.; Aarik, L.; Asari, J.; Ritslaid, P.; Aarik, J.
  • Inglise
Thin Solid Films
0040-6090
542
2013
219224
Ilmunud
1.1. Teadusartiklid, mis on kajastatud Web of Science andmebaasides Science Citation Index Expanded, Social Sciences Citation Index, Arts & Humanities Citation Index ja/või andmebaasis Scopus (v.a. kogumikud)
WOS

Viited terviktekstile

dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2013.06.079