Atomic Layer Deposition and Characterization of Dysprosium-Doped Zirconium Oxide Thin Films

Tamm, Aile; Kozlova, Jekaterina; Arroval, Tõnis; Ritslaid, Peeter; Kukli, Kaupo; Aarik, Jaan (2014). Atomic Layer Deposition and Characterization of Dysprosium-Doped Zirconium Oxide Thin Films. Baltic ALD 2014, 12-13 mai, 2014 Helsinki, Soome.
publitseeritud konverentsiettekanne
Tamm, Aile; Kozlova, Jekaterina; Arroval, Tõnis; Ritslaid, Peeter; Kukli, Kaupo; Aarik, Jaan
  • Inglise
Aatomkihtsadestatud Dy dopeeritud ZrO2 kilede kasvu uurimine ja karakteriseerimine
Baltic ALD 2014, 12-13 mai, 2014 Helsinki, Soome
2014
Ilmunud
5.2. Konverentsiteesid, mis ei kuulu valdkonda 5.1

Viited terviktekstile