Phase transformations in hafnium dioxide thin films grown by atomic layer deposition at high temperatures

Aarik, J.; Aidla, A.; Mandar, H.; Uustare, T.; Kukli, K.; Schuisky, M. (2001). Phase transformations in hafnium dioxide thin films grown by atomic layer deposition at high temperatures. Applied Surface Science, 173, 15−21.
ajakirjaartikkel
Aarik, J.; Aidla, A.; Mandar, H.; Uustare, T.; Kukli, K.; Schuisky, M.
  • Inglise
Applied Surface Science
Elsevier Science BV
0169-4332
173
2001
1521
7
Ilmunud
1.1. Teadusartiklid, mis on kajastatud Web of Science andmebaasides Science Citation Index Expanded, Social Sciences Citation Index, Arts & Humanities Citation Index ja/või andmebaasis Scopus (v.a. kogumikud)
WOS

Viited terviktekstile

Lisainfo

Article
ISI Web of Science