Mechanical properties of aluminium, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition.

Jõgiaas, T.; Zabels, R.; Tamm, A.; Merisalu, M.; Hussainova, I.; Heikkilä, M.; Mändar, H.; Kukli, K.; Ritala, M.; Leskelä, M. (2015). Mechanical properties of aluminium, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition. Surface & Coatings Technology, 282, 36−42.10.1016/j.surfcoat.2015.10.008.
ajakirjaartikkel
Jõgiaas, T.; Zabels, R.; Tamm, A.; Merisalu, M.; Hussainova, I.; Heikkilä, M.; Mändar, H.; Kukli, K.; Ritala, M.; Leskelä, M.
  • Inglise
Aatomkihtsadestatud alumiinium-, tsirkoonium-, hafnium- ja tantaaloksiidi ja nende nanolaminaatide mehaanilised omadused.
Surface & Coatings Technology
282
2015
3642
Ilmunud
1.1. Teadusartiklid, mis on kajastatud Web of Science andmebaasides Science Citation Index Expanded, Social Sciences Citation Index, Arts & Humanities Citation Index ja/või andmebaasis Scopus (v.a. kogumikud)
WOS

Viited terviktekstile

dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2015.10.008