Effect of growth conditions on formation of TiO2-II thin films in atomic layer deposition process

Aarik, J.; Aidla, A.; Sammelselg, V.; Uustare, T. (1997). Effect of growth conditions on formation of TiO2-II thin films in atomic layer deposition process. Journal of Crystal Growth, 181 (3), 259−264.
ajakirjaartikkel
Aarik, J.; Aidla, A.; Sammelselg, V.; Uustare, T.
  • Inglise
Journal of Crystal Growth
Elsevier Science BV
0022-0248
181
3
1997
259264
6
Ilmunud
1.1. Teadusartiklid, mis on kajastatud Web of Science andmebaasides Science Citation Index Expanded, Social Sciences Citation Index, Arts & Humanities Citation Index ja/või andmebaasis Scopus (v.a. kogumikud)
WOS

Viited terviktekstile

Lisainfo

Article
ISI Web of Science