Holmium titanium oxide thin fi lms grown by atomic layer deposition

Kukli, Kaupo; Kemell, Marianna; Dimri Chandra, Mukesh; Puukilainen, Esa; Tamm, Aile; Stern, Raivo Stern; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku (2014). Holmium titanium oxide thin fi lms grown by atomic layer deposition. Thin Solid Films, 565, 261−266.10.1016/j.tsf.2014.06.028.
ajakirjaartikkel
Kukli, Kaupo; Kemell, Marianna; Dimri Chandra, Mukesh; Puukilainen, Esa; Tamm, Aile; Stern, Raivo Stern; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku
  • Inglise
Thin Solid Films
565
2014
261266
Ilmunud
1.1. Teadusartiklid, mis on kajastatud Web of Science andmebaasides Science Citation Index Expanded, Social Sciences Citation Index, Arts & Humanities Citation Index ja/või andmebaasis Scopus (v.a. kogumikud)
WOS

Viited terviktekstile

dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2014.06.028