Atomic layer deposition of Cr2O3 thin films: Effect of crystallization on growth and properties

Tarre, A.; Aarik, J.; Mändar, H.; Niilisk, A.; Pärna, R.; Rammula, R.; Uustare, T.; Rosental, A.; Sammelselg, V. (2008). Atomic layer deposition of Cr2O3 thin films: Effect of crystallization on growth and properties. Applied Surface Science, 254 (16), 5149−5156.10.1016/j.apsusc.2008.02.016.
ajakirjaartikkel
Tarre, A.; Aarik, J.; Mändar, H.; Niilisk, A.; Pärna, R.; Rammula, R.; Uustare, T.; Rosental, A.; Sammelselg, V.
  • Inglise
Atomic layer deposition of Cr2O3 thin films: Effect of crystallization on growth and properties
Applied Surface Science
0169-4332
254
16
2008
51495156
Ilmunud
1.1. Teadusartiklid, mis on kajastatud Web of Science andmebaasides Science Citation Index Expanded, Social Sciences Citation Index, Arts & Humanities Citation Index ja/või andmebaasis Scopus (v.a. kogumikud)
WOS

Viited terviktekstile

dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2008.02.016