See veebileht kasutab küpsiseid kasutaja sessiooni andmete hoidmiseks. Veebilehe kasutamisega nõustute ETISe kasutustingimustega. Loe rohkem
Olen nõus

Absorber and phase defect inspection on EUV reticles using RESCAN

Mochi, I.; Fernandez, S.; Nebling, R.; Locans, U.; Helfenstein, P.; Rajeev, R.; Dejkameh, A.; Kazazis, D.; Tseng, L.T.; Ekinci, Y. (2019). Absorber and phase defect inspection on EUV reticles using RESCAN. Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 10957. SPIE. DOI: 10.1117/12.2515160.
publitseeritud konverentsiettekanne
Mochi, I.; Fernandez, S.; Nebling, R.; Locans, U.; Helfenstein, P.; Rajeev, R.; Dejkameh, A.; Kazazis, D.; Tseng, L.T.; Ekinci, Y.
  • Inglise
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
0277-786X
9781510625617
10957
2019
Ilmunud
3.1. Artiklid/peatükid lisas loetletud kirjastuste välja antud kogumikes (kaasa arvatud Web of Science Book Citation Index, Web of Science Conference Proceedings Citation Index, Scopus refereeritud kogumikud)
Jah
roheline

Viited terviktekstile

dx.doi.org/10.1117/12.2515160

Seotud asutused

Paul Scherrer Institut

Lisainfo

Conference Paper
Actinic pattern inspection | EUV | Lensless microscopy. | Pellicle | Phase defects
https://www.dora.lib4ri.ch/psi/islandora/object/psi%3A24246/datastream/PDF/Mochi-2019-Absorber_and_phase_defect_inspection-%28published_version%29.pdf