Structure and morphology of Ru films grown by atomic layer deposition from 1-ethyl-1'-methyl-ruthenocene

Kukli, K.; Aarik, J.; Aidla, A.; Uustare, T.; Jõgi, I.; Lu, J.; Tallarida, M.; Kemell, M.; Kiisler, A-A; Ritala, M.; Leskelä, M. (2010). Structure and morphology of Ru films grown by atomic layer deposition from 1-ethyl-1'-methyl-ruthenocene. Journal of Crystal Growth, 312, 2025−2032.
ajakirjaartikkel
Kukli, K.; Aarik, J.; Aidla, A.; Uustare, T.; Jõgi, I.; Lu, J.; Tallarida, M.; Kemell, M.; Kiisler, A-A; Ritala, M.; Leskelä, M.
  • Inglise
Journal of Crystal Growth
312
2010
20252032
Ilmunud
1.1. Teadusartiklid, mis on kajastatud Web of Science andmebaasides Science Citation Index Expanded, Social Sciences Citation Index, Arts & Humanities Citation Index ja/või andmebaasis Scopus (v.a. kogumikud)
WOS

Viited terviktekstile