See veebileht kasutab küpsiseid kasutaja sessiooni andmete hoidmiseks. Veebilehe kasutamisega nõustute ETISe kasutustingimustega. Loe rohkem
Olen nõus

EUV reticle inspection using phase retrieval algorithms: A performance comparison

Nebling, R.; Mochi, I.; Kazazis, D.; Locans, U.; Dejkameh, A.; Ekinci, Y. (2019). EUV reticle inspection using phase retrieval algorithms: A performance comparison. Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 11147. SPIE. DOI: 10.1117/12.2536936.
publitseeritud konverentsiettekanne
Nebling, R.; Mochi, I.; Kazazis, D.; Locans, U.; Dejkameh, A.; Ekinci, Y.
  • Inglise
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
0277-786X
9781510629974
11147
2019
Ilmunud
3.1. Artiklid/peatükid lisas loetletud kirjastuste välja antud kogumikes (kaasa arvatud Web of Science Book Citation Index, Web of Science Conference Proceedings Citation Index, Scopus refereeritud kogumikud)
Jah
roheline

Viited terviktekstile

dx.doi.org/10.1117/12.2536936

Seotud asutused

Paul Scherrer Institut

Lisainfo

Conference Paper
APMI | CDI | EUV mask inspection | Lensless imaging | Phase retrieval algorithm | Ptychography
https://www.dora.lib4ri.ch/psi/islandora/object/psi%3A25901/datastream/PDF/Nebling-2019-EUV_reticle_inspection_using_phase-%28published_version%29.pdf