Problems of Thin Films Characterization: Examples Based on HfO2 Films

Sammelselg, V.; Aarik, J.; Mändar, H.; Kikas, A.; Käämbre, T.; Kasikov, A.; Zakharov, A.; Jurss, K.; Tapper, U.; Kauppinen, E.; Niinistö, L. (2003). Problems of Thin Films Characterization: Examples Based on HfO2 Films. 890: Symposia U1, 8th European Congress on Advanced Materials and Processes (EUROMAT 2003); Lausanne, Switzerland; September 1-5, 2003. Lausanne, 890.
publitseeritud konverentsiettekanne
Sammelselg, V.; Aarik, J.; Mändar, H.; Kikas, A.; Käämbre, T.; Kasikov, A.; Zakharov, A.; Jurss, K.; Tapper, U.; Kauppinen, E.; Niinistö, L.
  • Inglise
Symposia U1, 8th European Congress on Advanced Materials and Processes (EUROMAT 2003); Lausanne, Switzerland; September 1-5, 2003
Lausanne
890
2003
890
Ilmunud
5.2. Konverentsiteesid, mis ei kuulu valdkonda 5.1

Viited terviktekstile