Atomic layer deposition of epitaxial TiO2 II on c-sapphire

Tarre, Aivar; Möldre, Kristel; Niilisk, Ahti; Mändar, Hugo; Aarik, Jaan; Rosental, Arnold (2013). Atomic layer deposition of epitaxial TiO2 II on c-sapphire. Journal of Vacuum Science and Technology A, 31 (1), 01A118-1−01A118-5.10.1116/1.4764892.
ajakirjaartikkel
Tarre, Aivar; Möldre, Kristel; Niilisk, Ahti; Mändar, Hugo; Aarik, Jaan; Rosental, Arnold
  • Inglise
Epitaksiaalse TiO2 II aatomkihtsadestamine c-safiiril
Atomic layer deposition of epitaxial TiO2 II on c-sapphire
Journal of Vacuum Science and Technology A
0734-2101
31
1
2013
01A118-101A118-5
Ilmunud
1.1. Teadusartiklid, mis on kajastatud Web of Science andmebaasides Science Citation Index Expanded, Social Sciences Citation Index, Arts & Humanities Citation Index ja/või andmebaasis Scopus (v.a. kogumikud)
WOS

Viited terviktekstile

dx.doi.org/10.1116/1.4764892